La plateforme Nanofabrication

La plateforme Nanofabrication ouverte aux autres laboratoires (CEA, CNRS, UGA, G-INP) dans son fonctionnement et destinée à la réalisation d'objets nanométriques, souvent uniques en utilisant un nombre limité d'étapes lithographiques. 

Mots clés : académique • chercheurs • étudiants • objets nanométriques • lithographie • salle blanche 

Technologies disponibles : 

• Lithographie électronique et iconique (FIB) 
• Lithographie optique UV et DUV 
• Ecriture directe, lithographie par faisceau laser 
• Dépôts d'Isolants par ALD et pulvérisation 
• Gravures RIE, IBE, Chimiques 
• Equipements de caractérisation et de Back-End 

ACCès a la plateforme nanofabrication