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Plateforme technologique
Le CEA est doté d'un parc d'équipements, microélectroniques de classe mondiale, les salles blanches permettent de mettre au point des procédés pour la fabrication de composants et circuits électroniques innovants, compatibles avec les besoins en fort volume de l'industrie.
Mots clés : More Moore • Beyond CMOS • More-than-Moore • substrats et ingénierie • FD-SOI • intégration 3D • MEMS et NEMS
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