Microsystèmes : nano et microfabrication

• Capteurs : 

Inertiels • Microphones • Pression barométriques • pMUT/cMUT • Chimiques • Biocapteurs • Magnétiques (GMR, TMR...) • Traitement du signal • Communication • Gestion d'énergie • Capteurs pour solution hardware et logiciel 

• Actionneurs : 

Haptiques • Scanners piézoélectriques • Haut-Parleurs piézoélectriques • Résonateurs de temps GHz 

• Caractérisation avancée :

Tests sous pointe automatiques • Semi-automatiques • Tests sous pointe manuel • Caractérisation matériaux • Essais mécaniques • Test de robustesse et fiabilité • Analyse de gaz résiduel 

• Conception de l'idée au démonstrateur : 

Conception • Simulation & modélisation • Procédés de fabrication • Tests • Transferts vers des fonderies